電子工業廢氣治理主要來自半導體器件、電子元器件、電子組件、平板顯示器、整機機殼的表面涂層工藝使用溶劑型涂料、清洗工藝使用有機脫脂劑、脫水劑等。電子工業廢氣治理比較難嗎?

電子工業是VOCs排放的主要行業，電子工業廢氣VOCs排放種類多，組分復雜。廢氣排放中風量較大，VOCs濃度較低。半導體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大的特點。

電路板采用免清洗工藝，推廣使用免清洗助焊劑等。電子表面涂裝噴漆生產作業由傳統的空氣噴漆工藝為靜電噴漆工藝取代，使用不含有機溶劑或低含量有機溶劑涂料。

電子行業工業廢氣治理采用相應末端治理技術，主要還是吸附法、焚燒法，吸附法利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，吸附劑選擇性高，活性炭屬非極性吸附劑，對非極性化合物有較強的吸附能力，一般可凈化低濃度VOCs，凈化效率可達到90%以上。

電子工業企業應加強環境管理，對逸散性無組織排放監控，包括設備與管線組件泄漏、揮發性有機物液體，儲運及廢水收集、處理和儲存設施的逸散等，盡可能把無組織排放變為集中有組織排放，并加以收集治理。電子工業廢氣治理在方法上是有多樣性的，通過不同的需求來選擇。